贛州艾比富科技有限公司是一家集科研、生產(chǎn)、銷(xiāo)售、服務(wù)于一體的高新科技企業(yè)，專(zhuān)注微波等離子體應(yīng)用領(lǐng)域開(kāi)發(fā)應(yīng)用，另外代理德國(guó)ibf微波公司產(chǎn)品銷(xiāo)售，售后服務(wù)。
公司有2450MHz、915MHz兩大系列產(chǎn)品，微波高溫?zé)Y(jié)，MPCVD、PECVD、常壓微波等離子體技術(shù)等等，推動(dòng)著我國(guó)微波能應(yīng)用技術(shù)的發(fā)...
微波等離子體是一種通過(guò)微波電磁場(chǎng)激發(fā)與維持的等離子體。微波等離子體與電暈放電等離子體、介質(zhì)阻擋放電等離子體相比，具有無(wú)電極、氣體溫度高（103 °C）、電子密度大、易于形成大體積（104 cm3）炬狀等離子體等優(yōu)點(diǎn)[1,2] 具有豐富的高能態(tài)粒子和活性自由基。其基本特性如圖1、2所示。
微波等離子體原理：微波電源為磁控管供電，由磁控管產(chǎn)生2.45 GHz微波，微波進(jìn)入漸變型矩形波導(dǎo)諧振腔，在腔內(nèi)形成穩(wěn)定的駐波狀態(tài)，石英管中心恰位于駐波波峰的高電場(chǎng)場(chǎng)強(qiáng)區(qū)域；在靠近石英放電管側(cè)波導(dǎo)較薄，以提升石英放電管附近微波能量傳輸密度，從而增強(qiáng)石英管中心位置電場(chǎng)強(qiáng)度，減小微波等離子體激發(fā)難度[1,2]。大氣壓微波等離子體模塊化裝置如圖3所示。
由于大氣壓空氣微波等離子體可以在常壓環(huán)境下產(chǎn)生，工作氣體易于獲取，從而微波等離子體在納米材料合成、蝕刻、有機(jī)廢氣處理、垃圾無(wú)害化處理[3]等領(lǐng)域取得了顯著成效。
參考文獻(xiàn)：
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